Современные российские литографы появятся через пару лет
Президент Российской академии наук Геннадий Красников рассказал, что российские 193-нм литографические сканеры будут готовы через несколько лет. Сейчас учёные работают с эксимерными источниками света на базе смеси благородных газов для получения длины волны 248 нм, и в ближайшей перспективе будет переход на 193 нм. И хотя потенциально эти EUV-литографы будут хуже, чем новейшие иностранные решения с твердотельными лазерами, такое оборудование сможет создавать чипы вплоть до 5 нм техпроцесса, и сложно назвать его устаревшим.
>>Click here to continue<<
